產(chǎn)品名稱(chēng)：二硅化鎢（WSi2）
規(guī)格：0.8-10um（D50）
形貌：不規(guī)則
顏色：黑灰色
特點(diǎn)：高熔點(diǎn)、高硬度、良好的導(dǎo)電性、熱穩(wěn)定性和抗氧化性
用途：微電子、電子器件、能源存儲(chǔ)、催化劑等領(lǐng)域
硅化鎢
CAS編號(hào)：12039-95-1
EINECS編號(hào)：12039-95-1
熔點(diǎn)：2320°C
密度：14.400
密度 :9.88 g/cm3
性質(zhì)：具有良好的抗氧化性，溶于氟王水，但是不溶于水。二硅化鎢的化學(xué)性質(zhì)它可以和許多的物質(zhì)發(fā)生劇烈反應(yīng)，例如強(qiáng)酸、氟、氧化劑和鹵間化合物等。
用途：WSi2常被用于微電子中作為觸電材料，其中電阻是60-80μΩcm。同時(shí)它也經(jīng)常被用多晶硅線(xiàn)上的分流器，從而增加多晶硅線(xiàn)的導(dǎo)電性和信號(hào)速度。二硅化鎢 (WSi2) 因其具有高熔點(diǎn)、較好的穩(wěn)定性，及低電阻率的特點(diǎn)，在 CMOS 制程上的應(yīng)用已愈來(lái)愈普遍，主要用于提升金屬鋁和硅之間的歐姆接觸及用來(lái)和多晶硅 (Polysilicon) 一起作為 gate 的導(dǎo)體材料，以降低 gate 的電阻率。
硅化鎢的制備方法：
(1）將鎢粉和硅粉按摩爾比1:2配料，將鈦粉與石墨粉按摩爾比1:1配料，然后分別混合均勻。
(2）將W-Si混合粉裝在坩堝中央，Ti-C混合粉均勻裝在W-Si混合粉與坩堝之間，最后在所有混合粉的頂部裝一層Ti-C混合粉，坩堝內(nèi)所裝的Ti-C混合粉與W-Si混合粉的重量比例為(0.8~1.2)：1
(3）將裝混合粉的坩堝裝入一個(gè)密閉的反應(yīng)器中，抽真空后充入氬氣，然后用鎢絲通電引發(fā)混合料間的反應(yīng)。
(4）冷卻后取出反應(yīng)后的物料，將碳化鈦與二硅化鎢分開(kāi)，分別破碎后得到碳化鈦和二硅化鎢粉末。
包裝儲(chǔ)存：一般為惰氣防靜電包裝，應(yīng)密封保存于干燥、陰涼的環(huán)境中，不宜長(zhǎng)久暴露于空氣中，防受潮發(fā)生團(tuán)聚，影響分散性能和使用效果。
